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机电一体化系统中的导向装置一般是轨，导轨由运动件和承导件组成。各种机械运行时，由导轨副保证执行件的正确运动轨迹。并且导轨副也影响着执行件的运动特性。

导向精度 主要轨运动轨迹的度。影响导向精度的主要因素有：导轨的几何精度和接触精度，导轨的结构形式，导轨及其支承件的刚度和热变形，静（动）压导轨副之间的油膜厚度及其刚度等。

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低速运动平稳性动导轨作低速运动或微量位移时易产生摩擦自激振动，即爬行现象。爬行会降低定位精度或被加工工件表面的粗糙度的值。
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